高純氣體的充裝流程
時(shí)間: 2021-05-12瀏覽次數(shù):
高純氣體的充裝流程主要有三步,一準(zhǔn)備工作,二抽空操作,三管道保壓操作。 一、準(zhǔn)備工作: 1、氣瓶上架。 2、微開閥門通入0.2MPa壓力 3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。 4、關(guān)
高純氣體的充裝流程主要有三步,一準(zhǔn)備工作,二抽空操作,三管道保壓操作。
一、準(zhǔn)備工作:
1、氣瓶上架。
2、微開閥門通入0.2MPa壓力
3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。
4、關(guān)閉閥門,開啟充裝排放空閥,泄壓至0.
5、目測(cè)壓力表是否為0。
二、抽空操作:
1、開啟真空泵,同時(shí)抽空匯流排,負(fù)壓值≥0.1MPa,繼續(xù)抽真空15~30min,關(guān)閉抽空管道截止閥后,停止真空泵;
2、緩慢開啟抽空總閥。
3、真空表指示值<-0.1MPa
4、抽空5~15分鐘后。
5、關(guān)閉抽空總閥。
6、開啟通氣閥。
7、關(guān)閉真空泵,抽空結(jié)束。
三、管道保壓操作:
1、高純氣體的充裝結(jié)束后,關(guān)閉充裝排總閥。
2、30分鐘后目測(cè)壓力表壓降低于10~15%。